صفحه کالیبراسیون ویفر کوارتز ضخیم شده 9 اینچی مقاوم در برابر حرارت بالا

صفحه شیشه ای کالیبراسیون 9 اینچی وفر ضخیم شده یک بستر مرجع نوری دقیق است که برای اندازه گیری و ظاهر و مسطحیت وفر نیمه هادی طراحی شده است.تولید شده از سیلیکون ذوب شده با نفوذ بالا یا شیشه بوروسیلیکات بدون قلی، این صفحه کالیبراسیون با ابعاد استاندارد 9 اینچی وافر مطابقت دارد در حالی که یک ساختار ضخیم شده سفارشی را ارائه می دهد که در طول چرخه های بازرسی مکرر در برابر خم شدن و انحراف مقاومت می کند.سطوح دو طرفه بسیار دقیق پولیش شده سطح سطح اپتیکال و موازی را ارائه می دهندبه عنوان یک مرجع کالیبراسیون اختصاصی،صفحه اطمینان می دهد که داده های اندازه گیری در طول دوره های تولید طولانی ثابت و قابل تکرار باقی می مانند.، که آن را به یک ابزار ضروری برای ساخت وافره، تراز لیتوگرافی و برنامه های اندازه گیری تصویر نوری تبدیل می کند.

• ساختار ضخیم برای سفتی:صفحه تقویت شده از انحراف و تغییر شکل در طول بازرسی جلوگیری می کند و داده های کالیبراسیون پایدار و قابل تکرار را ارائه می دهد.
• پولیش نوری فوق دقیق دو طرفه:سطوح بدون خراش، حفره، حباب و سنگ هستند، با سطح سطح نوری و موازی.
• انتقال یکنواخت بالا از اشعه ماوراء بنفش به نور مرئی:زیربنای خالص به حداقل رساندن تداخل نور بیگانه می رسد و کاملا با تجهیزات بازرسی نوری خودکار AOI سازگار است.
• ضریب انبساط حرارتی پایین:حداقل تغییر شکل در اثر تغییر دمای، هندسه مرجع را پایدار نگه می دارد و مواد در برابر محلول های تمیز کننده اسید و قلیی مقاومت می کنند.
• حاشیه های دقیق:لبه های بدون تراش، وافرها و لنزهای بازرسی را در هنگام دست زدن و بارگذاری از خراش ها محافظت می کنند.

صفحه شیشه ای کالیبراسیون 9 اینچی گشاد شده به عنوان یک مرجع نوری متنوع در محیط های تولید و بازرسی نیمه هادی عمل می کند.آن را به طور گسترده ای برای کالیبراسیون ابعاد 9 اینچ وافرهای سیلیکونی استفاده می شود، ارائه یک استاندارد هندسی قابل اعتماد که دقت ابزار اندازه گیری را تأیید می کند.سطح درجه نوری به عنوان یک مرجع معتبر برای مقایسه یکسانی سطح و تشخیص انحراف عمل می کند.این صفحه همچنین به عنوان یک حامل استاندارد برای ابزارهای اندازه گیری تصویر نوری عمل می کند و از موقعیت پذیری ثابت در طول تجزیه و تحلیل ابعاد پشتیبانی می کند.این به عنوان یک صفحه کالیبراسیون تراز کار می کند که به حفظ ثبت دقیق الگوی کمک می کندعلاوه بر این، صفحه به عنوان یک پایه ثابت برای بررسی نقص سطح وافر، ارائه یک بستر صاف، پایدار و بدون آلودگی برای سیستم های تشخیص نقص خودکار استفاده می شود.

• صفحه ضخیم ضد خم شدن:ساختار تقویت شده مانع از انحراف مرجع در طول بازرسی طولانی مدت جرم می شود و نتایج کالیبراسیون را به صورت قابل اعتماد در هر شیفت نگه می دارد.
• مواد با طهارت بالا بدون بارش:بستر تمیز هیچ آلاینده ای را آزاد نمی کند، و وافرها را در طول بازرسی تماس از آلودگی محافظت می کند.
• سفارشی سازی کامل در دسترس:ضخامت، پوشش نوری، علامت گذاری مقیاس تراز، سوراخ کردن و حفاری همه می توانند بر اساس نیازهای مشتری طراحی شوند.
• سازگاری بالای تک قطعه:کنترل دقیق تولید تضمین می کند که صفحات در دستگاه های بازرسی متعدد با عملکرد یکسان قابل تعویض باشند.